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濺射蒸鍍靶材的選擇

更新時間:2025-09-27點擊次數(shù):60

直流磁控濺射儀濺射方式是調(diào)動靶材內(nèi)磁場,使金屬離子轟擊到樣品表面的鍍膜方式。目前只能支持金屬靶材。已經(jīng)測試過的靶材有金、銀、銅、鉻、鎳、鋁、以及部分合金(鎳鐵合金)。靶材正常是2mm,不帶磁性的話 最多5mm,帶磁性的不要超過2mm,否則會有干擾。以下是對一些特殊金屬鍍膜要求:

銅:正常顏色為藍(lán)綠色,或灰色偏綠。

鋁:鍍鋁推薦使用高真空分子泵。真空時間抽長一些,測試時間60s,電流500,真空度3-5pa,等電壓上升到250以上時,可以調(diào)小電流,調(diào)小真空,白光鍍不上,正常顏色為紅色。

鉻:靶材厚度 0. 5mm 左右

鎳:靶材厚度2mm,5 建議真空度為2-3pa,建議電流為200-300ma,真空度不能太高   電流不要太大。

鈦:真空度示數(shù)要低,功率要高,建議500ma,時間60.正常濺射為綠色,出現(xiàn)白色輝光時  電壓正常,但是鍍不上,需要注意。

常見問題;1、有電流,沒電壓,是短路。

                   2、電壓直接到1000v,真空度過高,加大氬氣量。


小型蒸鍍儀是通過高溫蒸發(fā)的方式鍍膜。支持蒸鍍金屬和有機物。目前已測試的金屬有金、銀、銅、鉻、鎳、鋁,有機物(石蠟)。蒸鍍儀增加膜厚監(jiān)測需要用到帶有屏蔽溫度的陶瓷坩堝(原因是高溫會影響膜厚儀的測試結(jié)果)。以下是對一些特殊金屬鍍膜要求。

鋁:鍍鋁需要用到陶瓷坩堝。是因為鋁高溫熔化時會滲透進鎢舟,發(fā)生脆性相,鎢舟容易斷鎳:熔點較高(1453°),需要用鎳絲纏繞鎢棒進行蒸發(fā)。同樣會滲透進鎢棒內(nèi),使鎢棒斷

鉻:需要用到鉻鎢棒進行蒸發(fā)鍍膜熔點較高(1850 左右°)